用途
●提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
●清洗各類基板。
●電子部品、材料表面改質(zhì)。
●去除有機物和自然氧化膜。
特點
●體積小,節(jié)省空間。
●選用小型腔體,反應(yīng)效率高。
●更容易嵌入生產(chǎn)線使用。
●可通過操作面板自由切換等離子模式。
●配備冷卻反應(yīng)臺
日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機YSP600U
雅馬拓產(chǎn)品報價:0.00
樣品傳輸系統(tǒng)為模塊式,便于組合。
屬性 | 參數(shù) |
模式 | RIE(DP模式選購) |
高頻輸功率 | 600W |
反應(yīng)臺尺寸 | W300×D300mm |
反應(yīng)氣體 | 2進氣系統(tǒng)(氧氣、氬氣) |
反應(yīng)氣體流量控制 | 質(zhì)量流量控制器 |
氣體導(dǎo)入口 | 反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個、空氣1個 |