使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式
高性能型號,調(diào)取數(shù)據(jù)簡單,以電子材料為中心,可對應(yīng)
多種用途。
●可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。
●搭載高精度適配器,高性能RF電源。
●可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。
特征
●硅晶圓的灰化及蝕刻
●基板表面污垢處理
●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
●半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗
●自然氧化膜·有機物去除
●界面活性處理
●表面污染物去除
日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機V1000XS
雅馬拓產(chǎn)品報價:0.00
13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機,搭載RIE·DP 雙模式。
屬性 | 參數(shù) |
等離子模式 | DP/RIE |
高頻電源 | 13.56MHz |
輸出功率 | Max1000 & 1500W |
有效電極尺寸 | W400×D375mm |
電極 | 平板(多目的) |
反應(yīng)氣體 | 聚合控制器2系統(tǒng)(填充氣路另行安裝) |
真空泵(標(biāo)配) | 1000 & 1500L/min |
安全裝置 | 門檢測開關(guān)、聯(lián)鎖機構(gòu)、緊急停止開關(guān)、溫度過升防止器等 |