用途
●提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
●灰化、蝕刻處理
●塑料封裝前處理
●印刷基板鍍層前處理
●LED關(guān)聯(lián)部品處理
●電子部品清洗
●光刻膠剝離或表面殘留物去除
●光學(xué)、金屬、機(jī)械部品等精密部件的清洗
●包含氟化樹(shù)脂的樹(shù)脂類產(chǎn)品表面改質(zhì)
●FCC對(duì)應(yīng)
特征
●600W的小型高輸出功率
●電極可選擇1·2·3段(采購(gòu)時(shí)指定)
●可處理縱型的試料收納盒
●可選擇RIE/DP模式(采購(gòu)時(shí)指定)
●數(shù)據(jù)記錄器(選配)
●適配點(diǎn)記憶功能(選配)
日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機(jī)PDC610
雅馬拓產(chǎn)品報(bào)價(jià):0.00
小型、多段式等離子清洗機(jī)。
屬性 | 參數(shù) |
型號(hào) | PDC610 |
等離子模式 | RIE/DP(固定模式) |
電極構(gòu)造 | 3段獨(dú)立平行平板(固定) |
高頻輸出 | Max600W |
頻率 | 13.56MHz |
控制·顯示方式 | PLC·觸摸屏 |
反應(yīng)腔尺寸 | W350×D270×H300mm |
反應(yīng)腔材質(zhì) | A5052 |
反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)(Ar、O2) |
填充氣體 | N2或干燥空氣 |
真空泵 | 油泵(約345L/分)·標(biāo)配 |
外形尺寸 | W600×D722×H700mm |
外裝材質(zhì) | 不銹鋼 |
電源 | 3相,AC200,50/60Hz,15A |