用途
•高分子材料表面的官能基付與一粘合性、密著性提高。通 過氧化反應,在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能 基(微量的水分及二氧化碳影響)。
同樣在氮氣等離子體中,氮原子被吸收在表面中,生
成-NH 2等官能基。
•硅晶圓蝕刻。
•材料表面改性(金屬、聚合物、薄膜、啕瓷等)。
•石棉預處理(膜過濾灰化)。
•從電子設備到生化市場。
•低溫灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。
•使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。
•表面有機物去除。
日本雅馬拓YAMATO等離子灰化機PR301
雅馬拓產(chǎn)品報價:0.00
從樣品表面改質(zhì)到清洗的小型臺式等離子清洗機。
屬性 | 參數(shù) |
型號 | PR301 |
模式 | DP模式,桶型 |
高頻輸出 | Max300W |
頻率 | 13.56MHz |
同調(diào)方式 | 手動2軸同調(diào)方式 |
反應腔 | 耐熱玻璃0118x160mm |
反應氣體 | 1系統(tǒng)(氧氣)流量計 |
控制 | 自動減壓、自動密閉閥 |
配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍 |
外形尺寸 | W438xD520xH630mm |
重量 | 約34kg |
電源 | AC100V7A |